高純氣體管道配管
所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(POU)，為了達到工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。
高純NO氣體中主要雜質(zhì)為N2O、NO2、CO2 、N2及硫化物，在配制用標(biāo)氣時，通常NO濃度為800 ppm左右)，NO2是重點控制的雜質(zhì)指標(biāo)，否則，將釀成嚴重的事故，國內(nèi)曾發(fā)生NO標(biāo)準氣體中NO2超標(biāo)，導(dǎo)致呼吸險些致命的事故，NO標(biāo)準氣體中NO2超標(biāo)的原因有二：
一、高純NO氣體中雜質(zhì)NO2本身就超標(biāo)，純氣NO 中NO2的檢測多采用化學(xué)法，檢測比較麻煩，國內(nèi)許多NO廠是不具備條件，這樣NO 中NO2的含量就失去控制的，而在NO合成時NO2是極易超標(biāo)的。
二、配制標(biāo)準氣體配制時所用底氣不純，含氧量高，或氣瓶、系統(tǒng)臵換不徹底甚至漏氣，而NO極易同O2反應(yīng)，生成NO2（NO+O2-----NO2）。
解決方式：
一、采用NO提純裝置將所用的原料NO進行在線提純。
二、對平衡氣體N2采用高壓脫氧凈化。
通過以上方式，可有效的保證用NO標(biāo)準氣體的質(zhì)量，通過新舊方法對比，標(biāo)準氣體的質(zhì)量明顯進步。
氣體產(chǎn)品大至可以分為兩大類別，即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過空氣分離設(shè)備制造的普通級的氧氣和氮氣、經(jīng)過焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。工業(yè)氣體一般要求生產(chǎn)量大，但對氣體的純度要求不高。特種氣體則是用途有別于一般氣體的氣體。它在純度、品種、性能等方面都是嚴格按照一定規(guī)格進行生產(chǎn)和使用的。特種氣體因種類 很多，又可以分為三類，即高純氣體、標(biāo)準氣體和電子特種氣體。
1、高純氣體
高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能制取的某個純度等級的氣體，純度等級可以不同。
2、一般混合氣體
由兩種以上氣體混臺配制而成的氣體，而且主要標(biāo)出大致濃度，即可滿足使用要求，這種氣體稱為一般混合氣體?！?
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